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退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

退火炉按热源分类主要有电热炉、燃煤退火炉、燃油退火炉、退火炉、煤气退火炉等，其中以自备煤气发生炉所产煤气退火炉应用广泛。煤气退火窑减去了燃烧室，直接利用煤气烧嘴在加热室喷射燃烧。为了降低能耗，煤气退火窑往往配有换热系统，将空气转换为助燃热风进行煤气的助燃。

适用范围：

1、黑色金属钢带、钢丝、钢管件中间和成品光亮退火。

2、有色金属铜带、铜丝、铜管、铜棒中间和成品光亮退火。

3、标准件、链条、机械零部件等散件光亮退火。

      热处理退火炉是一种可以在工业上进行淬火的设备，由于此特性被我们广泛用于机械加工，冶金冶炼，钢厂等热处理车间。

　　例如在钢厂加工中，为了使钢的质量更好，我们需要经过淬火这一操作。

　我们在使用热处理退火炉进行淬火时需注意。

　　在淬火时我们通常使用纯净水来对钢材进行淬火冷却，但是由于纯净水的冷却速度相对于钢材的冷却速度快，为了避免淬火冷却过程中对钢材造成损坏，这种使用纯净水的冷却适用于碳含量较低的钢材中。对于需要淬炼出，并且碳含量较高的钢材中，不适合用纯净水来进行冷却。

基本上全部的铸造件在制冷全过程上都会造成焊接应力，在调质处理全过程中，非常世界多元化解决和退火处理以后均会成热应力，热应力产生的关键缘故取决于铸造件的內部肉厚不一样，在快速制冷全过程中因为热降的差别产生，肉厚不一样会使每一个分不清的收拢各不相同，因此造成了说白了热应力，冷的一部分具备较高的潜变长短，而热的一部分其长短较低，故热的一部分便会在冷的一部分收拢后产生网络热点导致部分的形变，形变一部分之抗压强度，伴随着形变度的提升而提升，再不可以进一步形变时，铸造件內部产生某类程的延展性地应力，乃至塑性变形应变力，即是热应力，此地应力基本上可达到与抗压强度等价